無塵車間實(shí)際操作解決芯片時(shí)常見問題
1.解決芯片時(shí),盡量戴上無化學(xué)纖維手套,運(yùn)用清潔過的清潔鑷子夾到芯片,切忌以手指或別的任何東西觸碰芯片,遭觸碰環(huán)境污染過的芯片須經(jīng)清潔,終能再度運(yùn)用:
(1)一切一支鑷子前邊(即夾到芯片端)如被觸碰過,或是鑷子跌落路面上,盡量用來清潔切忌用紙巾或布擦試臟鑷子。
(2)芯片清潔后進(jìn)行下一操作程序前,若被手指觸碰過,盡量再度清潔。
(3)把芯片放置于石英石舟上,準(zhǔn)備充分進(jìn)爐體時(shí),若發(fā)現(xiàn)常見鑷子有損壞情況或芯片上帶醒目由鑷子所產(chǎn)生的環(huán)境污染,盡量將芯片再度清潔,并立刻拆卸清潔的鑷子運(yùn)用。
2.芯片盡量放置盒中,蓋上存放于規(guī)范位置,盡可能不能它曝露。
3.防止出現(xiàn)在芯片上溝通交流,以防止口水濺于芯片上,在芯片進(jìn)擴(kuò)散爐前,請(qǐng)?zhí)貏e注意,防止上述個(gè)人行為導(dǎo)致,若芯片上沾有化學(xué)纖維屑時(shí),用N2槍噴之。
4.從鐵弗龍(Teflon)晶舟,石英石舟(QuartzBoat)等挪動(dòng)移動(dòng)載具(Carrier)上,取下芯片時(shí),盡量垂直往上面挾起,防止出現(xiàn)刮傷芯片,顯微鏡拍攝攝像鏡頭確已離芯片,就可以從吸座挪動(dòng)走芯片。
5.芯片上,若已長(zhǎng)上空氣氧化層,在送白光室前切勿用裸鉆刀在芯片刻著記。
6.實(shí)際操作時(shí),不管是否戴上手套,手絕不允許放進(jìn)清潔不銹鋼水槽。
7.運(yùn)用分析化學(xué)站或電烤箱解決芯片時(shí),盡可能將芯片置放于鐵弗龍晶舟內(nèi),不可以運(yùn)用塑料盒。
8.放置芯片于石英石舟時(shí),若芯片跌落路面上或手里則盡量再度清潔芯片,接著再進(jìn)空氣氧化爐。
9.請(qǐng)勿觸摸芯片盒內(nèi)部,如被觸碰或是有碎芯片環(huán)境污染,盡量重作清潔。
10.手套,廢棄打印紙張及其它雜碎物件,切忌留置放操作臺(tái),手套若燒焦,磨爛或化學(xué)纖維霉變多盡量換新。
11.非經(jīng)標(biāo)識(shí),決不可開啟不了解的實(shí)驗(yàn)儀器及各式各樣切斷閥控制鈕或門把。
12.古怪的味道或體現(xiàn)發(fā)現(xiàn)異常的水溶液,色彩,聲響等請(qǐng)即通知相關(guān)工作員。
13.實(shí)驗(yàn)儀器因?qū)嶋H操作有誤而有一切損壞時(shí),盡可能立刻告知承擔(dān)工作員或教師。
14.芯片盒進(jìn)出無塵車間須保持清潔,并以薄膜袋封裝,違反者不能進(jìn)到。
15. 無塵車間內(nèi)一律運(yùn)用原子筆及清潔筆記本做記錄,一般打印紙張與中性筆不能攜入。
無塵車間內(nèi)室內(nèi)空間,因?yàn)榭紤]到清潔.就和外界隔開了.當(dāng)然的汽體進(jìn)不了.屋子里鋪滿的是生產(chǎn)制造物資供應(yīng)釋放出來的味道.雖無大毒.但時(shí)間長(zhǎng)了.對(duì)肺部會(huì)造成不可估量的危害
降低了身體的抵抗力量