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無(wú)塵室等級(jí)等級(jí)標(biāo)準(zhǔn)是如何定義

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用戶在向供應(yīng)商開(kāi)放無(wú)塵室時(shí)，有以下提示。
一是等級(jí)定義模式如下：
(atyμm)
X是無(wú)塵室的等級(jí)，如100或10000等，Y是0.2μm、0.5μm等粒徑，可重新選擇。這意味著用戶規(guī)定無(wú)塵室的顆粒含量必須在這些粒徑中達(dá)到該等級(jí)的限制。這可以減少爭(zhēng)端，以下是幾個(gè)例子：
Clas1(0.1μm，0.2μm，0.5μm)
Class100(0.2μm，0.5μm)
Class1002μm，0.5μm)
在Classes100(M3.5)andGreater(Class100，1000，10000...)，一般看一個(gè)粒徑。在Classeslessthan100(M3.5)(Class10，1..)，一般要看多少粒徑。
第二個(gè)技巧是規(guī)定無(wú)塵車間的狀態(tài)，例如：
Classx(atyμm)，At-rest。
供應(yīng)商很清楚，無(wú)塵室應(yīng)在At-rest狀態(tài)下進(jìn)行驗(yàn)收。
第三個(gè)技巧是自定義顆粒濃度上限。一般來(lái)說(shuō)，As-built時(shí)，無(wú)塵室非常干凈，顆?？刂颇芰y(cè)試不容易。此時(shí)，可以簡(jiǎn)單降低驗(yàn)收上限，如:
Class1000(0.3μm=10000)，As-built。
Class1000(0.5μm=1000)，As-built。
這樣做的目的是保證無(wú)塵室在Operational狀態(tài)下，仍有足夠的顆粒控制能力。
以下兩個(gè)表是Fed-Std-209E的等級(jí)定義，以及ISO-14644的等級(jí)定義。
Fed-Std-209E潔凈度定義。

ISO-14644潔凈度定義。

對(duì)比以上兩表，我們可以看到。
雖然209E的公制和英制有兩套標(biāo)準(zhǔn)可以互換，但一眼就很難看出它們的相關(guān)性。兩個(gè)系統(tǒng)放在同一張桌子上，徒然造成混淆。
在兩個(gè)表中，0.5mm幾乎出現(xiàn)在每個(gè)等級(jí)定義中，表示粒徑0.5mm的粒子非常有代表性。
在潔凈度分類上，ISO-14644的范圍比209E更廣，無(wú)論是高潔凈度還是低潔凈度。

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