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千級半導體凈化廠房設計施工

來源:http://zjjinchenboli.cn/ 作者:DEIIANG得創(chuàng) 發(fā)布時間:2022-08-26 13:11

千級半導體凈化廠房設計施工.得創(chuàng)凈化工程專業(yè)從事半導體凈化廠房工程規(guī)劃,設計,施工一條路凈化工程公司,歡迎來電咨詢:027-82289886
電子工程的建設就是為電子產(chǎn)品的生產(chǎn)提供可靠的環(huán)境條件。生產(chǎn)環(huán)境與電子產(chǎn)品的生產(chǎn)密切相關(guān)。合適的生產(chǎn)環(huán)境可以提高產(chǎn)品的性能、良率和可靠性,否則會對產(chǎn)品的生產(chǎn)產(chǎn)生很大的影響。

千級半導體凈化廠房參數(shù)標準

1.潔凈度標準
粉塵顆粒最大允許數(shù)量為0.5微米以上,大于或等于5微米的顆粒數(shù)量不超過350萬,大于或等于5微米的顆粒數(shù)量不超過2萬。0.5微米的概念是什么?--頭發(fā)絲的直徑約為70~100微米,細菌的大小約為1...
2.壓差標準
同一潔凈度等級的潔凈室之間的壓差應一致,不同潔凈度等級的相鄰潔凈室之間的壓差應≥5Pa,潔凈室與非潔凈室之間的壓差應≥10Pa。這主要是為了保證空氣從潔凈區(qū)流向不潔凈區(qū),避免空氣倒流。
3.溫度和濕度
溫度一般控制在冬季20~22℃;夏季24~26℃;波動范圍2℃。潔凈室的濕度冬季控制在30~50%,夏季控制在50~70%。

半導體凈化廠房標準 半導體凈化廠房標準
   

千級半導體凈化廠房空調(diào)系統(tǒng)的設計

1.凈化空調(diào)系統(tǒng)所控制的參數(shù)除一般空調(diào)系統(tǒng)的室內(nèi)溫.濕度之外,還要控制房間的潔凈度和壓力等參數(shù),并且溫度.濕度的控制精度較高,有的凈化廠房要求溫度控制在±0.1℃范圍內(nèi)等。 
2.凈化空調(diào)系統(tǒng)的空氣處理過程除熱.濕處理外,必須對空氣進簽訂初效濾.中間中效過濾.末端高效過濾等,高級別的凈化廠房為了有效.節(jié)能地對送入凈化廠房的空氣進行處理,采用集中新風處理,僅新風處理系統(tǒng)便設有多級過濾,需要嚴格需去除空氣中污染物分子時,還應設置各類化學過濾器。 
3.凈化廠房的氣流分布.氣流組織方面,要盡量限制和減少塵粒的擴散,減少二次氣流和渦流,使?jié)崈舻臍饬鞑皇芪廴荆宰疃痰木嚯x直接送到工作區(qū)?!?br /> 4.為確保凈化廠房不受室外污染或鄰室的污染,凈化廠房與室外或鄰室必須維持一定的壓差(正壓或負壓),最小壓差在5Pa以上,這就要求一定的正壓風量或一定的排風風量?!?br /> 5.凈化空調(diào)系統(tǒng)的風量較大(換氣次數(shù)一般10次至數(shù)百次),相應的能耗就大,系統(tǒng)造價也就高。 
6.凈化空調(diào)系統(tǒng)的空氣處理設備.風管材質(zhì)和密封材料根據(jù)空氣潔凈度等級的不同都有一定的要求;風管制作和安裝后都必須嚴格按規(guī)定進行清洗.擦拭和密封處理等?!?br /> 7凈化空調(diào)系統(tǒng)安裝后應按規(guī)定進行調(diào)試和綜合性能檢測,達到所要求的空氣潔凈度等級;對系統(tǒng)中的高效過濾器及其安裝質(zhì)量均應按規(guī)定進行檢漏等。

半導體凈化廠房標準 半導體凈化廠房標準
   

千級半導體凈化廠房設計壓差控制方式

1.送風、回風都使用定風量閥:
送風、回風都比較穩(wěn)定,那么對于開 門、關(guān)門、人員、物料的進、出對壓差的的擾動,消除能力幾乎為0,不能很好 地保證壓差的動態(tài)情況下的穩(wěn)定性?!?br /> 2.送風、回風都使用變風量閥:
結(jié)果經(jīng)常出現(xiàn)調(diào)節(jié)紊亂的現(xiàn)象,若干參數(shù)如果都在變化,自控系統(tǒng)無所適從,不知道該聽誰的指揮了。 
所以,一般采用送風定風量、回風變風量,是一種相對比較好的控制方式。

半導體凈化廠房標準 半導體凈化廠房標準
   

千級半導體凈化廠房地面的施工條件

凈化廠房環(huán)氧自流平樹脂地面
傳統(tǒng)溶劑稀釋用活性稀釋劑代替,無毒.無揮發(fā)性物質(zhì),符合環(huán)保要求;
采用優(yōu)質(zhì)固化劑,環(huán)氧自流平樹脂地面的施工在質(zhì)地和外觀上得到了極大的改善。根據(jù)不同的工藝要求,一次成膜的厚度可達到~3mm;
根據(jù)業(yè)主的要求,環(huán)氧自流平樹酯地面可制成任何標準顏色。
適用范圍
適用于醫(yī)藥工業(yè).食品工業(yè)等衛(wèi)生要求較高的建筑地面;
適用于汽車工業(yè).電子.儀表工業(yè)等耐磨.耐沖擊的建筑地面;
適用于耐化學腐蝕.耐鹽.耐弱酸.耐沖擊的建筑地面;
適用于建筑地面的防油.防水.防潮要求。
選擇主要材料
固化劑的選擇:
這是影響自流平面表面條件的主要原因。對于環(huán)氧自流平涂料,為了滿足一次施工成膜厚度和短期固化后的高粘度要求,固化劑的選擇是配方中最重要的工作。普通固化劑不能完全滿足產(chǎn)品的技術(shù)要求。一般采用改性固化劑,硬化過程中無游離胺沉淀。一般來說,國外自流平涂料的固化劑可用于冬季.夏季和春秋兩季。施工后,地面平整表面具有鏡面效果。例如,高檔汽車漆沒有時間點,顏色均勻豐滿。相反,國內(nèi)大多數(shù)自流平涂料一般采用相同的固化系統(tǒng),無論春.夏.秋.冬或地區(qū)的不同,自流平在不同地區(qū)的適用性較差,這可能導致在同一季節(jié)在不同地區(qū)的自流平施工時,施工質(zhì)量得不到很好的保證;同時,一般情況下,表面上有油斑.白化劑等固化劑,原則采用兩種或多種固化劑。根據(jù)不同類型的固化劑

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千級半導體凈化廠房裝修材料-通風管道安裝制作

通風系統(tǒng)可分為機械通風和自然通風。自然通風依靠室外風力使空氣流動,機械通風依靠風機引起的壓力使空氣流動。一般機械通風系統(tǒng)由風機.風管.風口.風閥.消聲器等組成。空調(diào)通風系統(tǒng)是使房間或建筑物內(nèi)的空氣達到并保持最佳狀態(tài)(溫度.濕度.氣流.凈化)的過程;空調(diào)溫度的本質(zhì)是反自然熱運動,其制冷原理是液體蒸發(fā)時吸收熱量。凈化空調(diào)系統(tǒng)的風管生產(chǎn)不僅要滿足一般空調(diào)系統(tǒng)對風管的要求,還要滿足不同潔凈度系統(tǒng)對風管生產(chǎn)和安裝的要求。冷軋鋼板或優(yōu)質(zhì)鍍鋅鋼板應根據(jù)設計要求選用風管和零件板。風管板拼接采用單咬;圓形風管閉合縫采用單咬,彎管橫向縫采用立咬;矩形風管轉(zhuǎn)角縫采用轉(zhuǎn)角縫.聯(lián)合角咬或按扣咬。上述咬縫必須涂上密封膠或密封膠帶。

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