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萬級(jí)集成電路潔凈廠房設(shè)計(jì)裝修

來源:http://zjjinchenboli.cn/ 作者:DEIIANG得創(chuàng) 發(fā)布時(shí)間:2022-11-28 16:40

萬級(jí)集成電路潔凈廠房設(shè)計(jì)裝修.得創(chuàng)凈化工程專業(yè)從事集成電路潔凈廠房工程規(guī)劃,設(shè)計(jì),施工一條路凈化工程公司,歡迎來電咨詢:027-82289886
用于生產(chǎn)電子產(chǎn)品的潔凈廠房,是將一定空間范圍內(nèi)的空氣塵埃粒子、有害空氣、細(xì)菌等污染物排除,并將室內(nèi)溫度、潔凈度、室內(nèi)壓力、氣流速度與氣流分布、噪音振動(dòng)及照明、靜電控制在某一特定需求范圍內(nèi),而專門設(shè)計(jì)建造的生產(chǎn)車間。即是具有無論外在空氣條件如何變化,其室內(nèi)環(huán)境均能具有維持原先所設(shè)定要求的潔凈度、溫濕度及壓力等性能特點(diǎn)。

萬級(jí)集成電路潔凈廠房

怎樣判斷醫(yī)院凈化工程是否達(dá)標(biāo)呢,要怎樣驗(yàn)收呢?小編為了解答這個(gè)疑惑特別整理了醫(yī)院凈化工程的行業(yè)驗(yàn)收標(biāo)準(zhǔn)。大家快來了解下吧
潔凈手術(shù)部(室)的施工,應(yīng)以凈化空調(diào)工程為核心,取得其他工種的積極配合。潔凈手術(shù)室施工可按如下程序進(jìn)行(其他輔助用房可參照此程序):
如圖:潔凈手術(shù)室施工程序圖
潔凈手術(shù)室施工程序圖
各道施工程序均要進(jìn)行記錄,驗(yàn)收合格后方可進(jìn)行下道工序。施工過程中要對每道工序制訂具體施工組織設(shè)計(jì)
工程驗(yàn)收
1、醫(yī)院的潔凈手術(shù)部(室)均應(yīng)按本節(jié)規(guī)定獨(dú)立驗(yàn)收
2、凈化空調(diào)工程驗(yàn)收,分竣工驗(yàn)收和綜合性能全面評(píng)定兩個(gè)階段
3、驗(yàn)收的內(nèi)容包括建設(shè)與設(shè)計(jì)文件、施工文件、施工記錄、監(jiān)理質(zhì)檢文件和綜合性能的評(píng)定文件等
4、潔凈手術(shù)部的其他設(shè)施,應(yīng)按設(shè)備說明書、合同書,由建設(shè)方對設(shè)備提供方和安裝方分別進(jìn)行驗(yàn)收
工程檢驗(yàn)
1、竣工驗(yàn)收和綜合性能全面評(píng)定的必測項(xiàng)目應(yīng)符合表10.3.1的規(guī)定,其中風(fēng)速風(fēng)量和靜壓差應(yīng)先測,細(xì)菌濃度應(yīng)最后檢測
10.3.1醫(yī)院凈化工程竣工驗(yàn)收必測項(xiàng)目表
通風(fēng)機(jī)的風(fēng)量及轉(zhuǎn)數(shù)
系統(tǒng)和房間風(fēng)量及其平衡
系統(tǒng)和房間靜壓及其調(diào)整
自動(dòng)調(diào)節(jié)系統(tǒng)聯(lián)合運(yùn)行
高效過濾器檢漏
潔凈度級(jí)別
級(jí)潔凈手術(shù)室手術(shù)區(qū)和級(jí)潔凈輔助用房局部百級(jí)區(qū)的工作面的截面風(fēng)速
其他各級(jí)潔凈手術(shù)室和潔凈輔助用房的換氣次數(shù)
靜壓差
所有集中送風(fēng)口高效過濾器抽查檢漏,Ⅰ級(jí)潔凈用房抽查比例應(yīng)大于50%,其他潔凈用房應(yīng)大于
溫濕度
噪聲
照度
新風(fēng)量
細(xì)菌濃度
2、不得以空氣潔凈度級(jí)別或細(xì)菌濃度的單項(xiàng)指標(biāo)代替綜合性能全面評(píng)定;不得以竣工驗(yàn)收階段的調(diào)整測試結(jié)果代替綜合性能全面評(píng)定的檢驗(yàn)結(jié)果
3、竣工驗(yàn)收和綜合性能全面評(píng)定時(shí)的工程檢測應(yīng)以空態(tài)或靜態(tài)為準(zhǔn)。任何檢驗(yàn)結(jié)果都必須注明狀態(tài)
4、竣工驗(yàn)收的檢測可由施工方完成。綜合性能全面評(píng)定的檢測,必須由衛(wèi)生部門授權(quán)的專業(yè)工程質(zhì)量檢驗(yàn)機(jī)構(gòu)或取得國家實(shí)驗(yàn)室認(rèn)可資質(zhì)條件的第三方完成
5、工作區(qū)截面風(fēng)速的檢驗(yàn)應(yīng)符合下列要求
換氣次數(shù)的檢驗(yàn)應(yīng)符合下列要求
對級(jí)潔凈手術(shù)室和潔凈輔助用房應(yīng)通過檢測送風(fēng)口風(fēng)量換算得出換氣次數(shù),綜合性能檢測結(jié)果不應(yīng)小于表規(guī)定范圍的均值,并不應(yīng)超過此范圍上限的
對于分散布置的送風(fēng)口,對每個(gè)風(fēng)口用套管法檢測
靜壓差的檢驗(yàn)應(yīng)符合下列要求
1、在潔凈區(qū)所有門都關(guān)閉的條件下,從平面上最里面的房間依次向外或從空氣潔凈度級(jí)別最高的房間依次向低級(jí)別的房間,測出有孔洞相通的相鄰兩間潔凈用房的靜壓差,綜合性能測定結(jié)果應(yīng)大于表4.0.1的規(guī)定值和符合4.0.2條的規(guī)定
2、測定高度距地面0.8m,測孔截面平行于氣流方向,測點(diǎn)選在無渦流無回風(fēng)口的位置。檢測儀器為讀值分辨率可達(dá)到1Pa的斜管微壓計(jì)或其他有同樣分辨率的儀表
潔凈度級(jí)別的檢驗(yàn)應(yīng)符合下列要求
級(jí)潔凈手術(shù)室和潔凈輔助用房檢測前,系統(tǒng)應(yīng)已運(yùn)行,其他潔凈房間應(yīng)已運(yùn)行。在確認(rèn)風(fēng)速換氣次數(shù)和靜壓差的檢測無明顯問題之后,再檢測含塵濃度。對.和的微粒,檢測結(jié)果均應(yīng)同時(shí)滿足下列條件各測點(diǎn)平均含塵濃度中的最大值不大于表
2、當(dāng)送風(fēng)口集中布置時(shí),應(yīng)對手術(shù)區(qū)和周邊區(qū)分別檢測,測點(diǎn)數(shù)和位置應(yīng)符合表10.3.82的規(guī)定;當(dāng)附近有顯著障礙物時(shí),可適當(dāng)避開。當(dāng)送風(fēng)口分散布置時(shí),按全室統(tǒng)一布點(diǎn)檢測,測點(diǎn)可均布,但不應(yīng)布置在送風(fēng)口正下方
3、每次采樣的最小采樣量:百級(jí):區(qū)域?yàn)?.66L,以下各級(jí)區(qū)域?yàn)?br /> 4、測點(diǎn)布置在距地面0.8m高的平面上,在手術(shù)區(qū)檢測時(shí)應(yīng)無手術(shù)臺(tái)。當(dāng)手術(shù)臺(tái)已固定時(shí),測點(diǎn)高度在臺(tái)面之上
5、在百級(jí):區(qū)域檢測時(shí),采樣口應(yīng)對著氣流方向;在其他級(jí)別區(qū)域檢測時(shí),采樣口均向上
6、當(dāng)檢測含塵濃度時(shí),檢測人員不得多于2人,都應(yīng)穿潔凈工作服,處于測點(diǎn)下風(fēng)向的位置,盡量少動(dòng)作
7、當(dāng)檢測含塵濃度時(shí),手術(shù)室照明燈應(yīng)全部打開
8、檢測儀器應(yīng)為流率不小于2.83L/min的光散射式粒子計(jì)數(shù)器
溫濕度的檢測應(yīng)符合下列要求
1、夏季工況應(yīng)在當(dāng)?shù)孛磕曜顭嵩碌臈l件下檢測,冬季工況應(yīng)在當(dāng)?shù)孛磕曜罾湓碌臈l件下檢測
2、室內(nèi)溫濕度測定為距地面0.8m高的中心點(diǎn),檢測結(jié)果應(yīng)符合表4.0.1的規(guī)定。檢測儀器為可顯示小數(shù)后一位的數(shù)字式溫濕度測量儀。有溫濕度波動(dòng)范圍要求的不適用本款的規(guī)定
3、測出室內(nèi)的溫濕度之后,應(yīng)同時(shí)測出室外溫濕度
噪聲的檢測應(yīng)符合下列要求
1、噪聲檢測宜在外界干擾較小的晚間進(jìn)行,以A聲級(jí)為準(zhǔn)。不足15m2的房間在室中心1.1m高處測一點(diǎn),超過15m2的在室中心和四角共測5點(diǎn),檢測結(jié)果應(yīng)符合表4.0.1的規(guī)定。檢測儀器宜用帶倍頻程分析儀的聲級(jí)計(jì)
2、全部噪聲測定之后,應(yīng)關(guān)閉凈化空調(diào)系統(tǒng)測定背景噪聲,當(dāng)背景噪聲與室內(nèi)噪聲之差小于10dB時(shí),室內(nèi)噪聲應(yīng)按常規(guī)予以修正
照度的檢測應(yīng)符合下列要求
1、照度檢測應(yīng)在光源輸出趨于穩(wěn)定(新日光燈和新白熾燈必須已使用超過10h,舊日光燈已點(diǎn)燃15min,舊白熾燈已點(diǎn)燃5min),不開無影燈,無自然采光條件下進(jìn)行
2、測點(diǎn)距地面0.8m,離墻面0.5m,按間距不超過2m均勻布點(diǎn),不刻意在燈下或避開燈下選點(diǎn)。各點(diǎn)中最小的照度值應(yīng)符合表4.0.1的規(guī)定。對大型以上(含大型)手術(shù)室,應(yīng)校核照度均勻度,并符合規(guī)定
新風(fēng)量的檢測應(yīng)符合下列要求
1、新風(fēng)量的檢測應(yīng)在室外無風(fēng)或微風(fēng)條件下進(jìn)行
2、通過測定新風(fēng)口風(fēng)速或新風(fēng)管中的風(fēng)速,換算成新風(fēng)量,結(jié)果應(yīng)在室內(nèi)靜壓達(dá)到標(biāo)準(zhǔn)的前提下,不低于表4.0.1的規(guī)定
細(xì)菌濃度的檢測應(yīng)符合下列要求
1、細(xì)菌濃度宜在其他項(xiàng)目檢測完畢,對全室表面進(jìn)行常規(guī)消毒之后進(jìn)行。表面染菌密度為監(jiān)測項(xiàng)目,按《醫(yī)院消毒衛(wèi)生標(biāo)準(zhǔn)》GB15982的方法檢測,檢測結(jié)果應(yīng)符合表3.0.3的規(guī)定
2、當(dāng)送風(fēng)口集中布置時(shí),應(yīng)對手術(shù)區(qū)和周邊區(qū)分別檢測;當(dāng)送風(fēng)口分散布置時(shí),全室統(tǒng)一檢測
3、當(dāng)采用浮游法測定浮游菌濃度時(shí),細(xì)菌濃度測點(diǎn)數(shù)應(yīng)和被測區(qū)域的含塵濃度測點(diǎn)數(shù)相同,且宜在同一位置上。每次采樣應(yīng)滿足表10.3.13-1規(guī)定的最小采樣量的要求,每次采樣時(shí)間不應(yīng)超過
浮游菌最小采樣量表

集成電路潔凈廠房標(biāo)準(zhǔn) 集成電路潔凈廠房標(biāo)準(zhǔn)
   

萬級(jí)集成電路潔凈廠房環(huán)境設(shè)計(jì)要求

潔凈室工程又稱鏈接關(guān)鍵詞無塵車間工程。在高新技術(shù)產(chǎn)品加工過程中,如何滿足產(chǎn)品精密加工、小型化、高質(zhì)量、高可靠性的要求,對生產(chǎn)環(huán)境中潔凈室工程的潔凈水平提出了更高的要求。
目前,潔凈室工程技術(shù)已廣泛應(yīng)用于各行各業(yè)或其他需要防止顆粒物污染和微生物污染的環(huán)境實(shí)驗(yàn)室控制中。由于不同行業(yè)之間距離大,要求不同,經(jīng)營環(huán)境的內(nèi)容和目標(biāo)也不盡相同,以下是我國五大行業(yè)潔凈室對工程技術(shù)要求的總結(jié)。
1.藥品生物潔凈室要求
藥品是用來預(yù)防和治療疾病,恢復(fù)和調(diào)節(jié)身體機(jī)能的特殊商品。它的質(zhì)量直接關(guān)系到人們的健康和安全。如果某些藥品在生產(chǎn)過程中受到微生物、粉塵顆粒等污染或相互滲透污染,可能會(huì)發(fā)生意外的疾病和損害。
2.醫(yī)用潔凈室工程要求及醫(yī)學(xué)探討
以集成電路為代表的工業(yè)環(huán)境實(shí)驗(yàn)室的控制多采用工業(yè)潔凈室技術(shù)和工業(yè)潔凈室工程,而醫(yī)學(xué)上多采用生物潔凈室工程進(jìn)行微生物污染控制。在生物潔凈室中,這些微生物主要由細(xì)菌和真菌組成,其粒徑為0。常見細(xì)菌的粒徑為0。它們大多附著在其他粒子上。生物污染通道不僅通過空氣,還與人體、經(jīng)營者的衣著有關(guān)。在醫(yī)學(xué)研究領(lǐng)域,生物實(shí)驗(yàn)室工程、無菌實(shí)驗(yàn)室工程、特種養(yǎng)殖動(dòng)物、養(yǎng)殖室等也非常需要控制微生物污染。
3.精密機(jī)械和精細(xì)化工產(chǎn)品生產(chǎn)的潔凈室工程要求
隨著科學(xué)技術(shù)的發(fā)展,許多工業(yè)產(chǎn)品的生產(chǎn)加工對生產(chǎn)環(huán)境中的粉塵濃度提出了很高的要求,這就要求生產(chǎn)環(huán)境具有一定的空氣潔凈度水平和各種相關(guān)物質(zhì)的供應(yīng)質(zhì)量,需要對生產(chǎn)過程進(jìn)行控制。例如在膠片生產(chǎn)中,如果膠片被粉塵污染,會(huì)產(chǎn)生乳化氧化、活性減弱、pH值變化等,進(jìn)而影響膠片的感光度。
4.半導(dǎo)體和集成電路潔凈室的工程要求
半導(dǎo)體數(shù)據(jù)凈化是發(fā)展半導(dǎo)體器件的重要基礎(chǔ)。目前層流罩的最高級(jí)別是航天航空艙室,基本上屬于一級(jí),屬于面積較小的特殊領(lǐng)域。此外,生化實(shí)驗(yàn)室和高精度納米數(shù)據(jù)生產(chǎn)車間對水平也有更高的要求。物聯(lián)網(wǎng)芯片的發(fā)展將是未來需求的主要方向。由于大規(guī)模和超大規(guī)模集成電路的工藝要求,為了獲得高純度硅數(shù)據(jù),材料和中心介質(zhì)的高純度和高精度恒溫恒濕工程,生產(chǎn)環(huán)境的清潔已成為影響產(chǎn)品質(zhì)量的突出問題。
集成電路芯片的成品率與芯片的缺陷密度有關(guān),芯片的缺陷密度與空氣中粒子的數(shù)量有關(guān)。因此,集成電路的高速發(fā)展不僅要求空氣中粒子的大小,而且要求粒子的數(shù)量。另外,對超大規(guī)模集成電路生產(chǎn)環(huán)境中無塵車間工程的化學(xué)污染控制也有相關(guān)要求。
5.化妝品和食品生產(chǎn)的潔凈室要求
現(xiàn)代化妝品大多含有蛋白質(zhì)、維生素、氨基酸、植物提取物等,為細(xì)菌、霉菌等微生物的繁殖提供了有利條件。凈化設(shè)備控制產(chǎn)品(如硅片)所接觸大氣的清潔度、溫度和濕度,使產(chǎn)品在良好的環(huán)境中生產(chǎn)制造。這個(gè)空間的設(shè)計(jì)和施工過程可以稱為凈化工程。因此,微生物污染是影響化妝品質(zhì)量的重要因素。

集成電路潔凈廠房標(biāo)準(zhǔn) 集成電路潔凈廠房標(biāo)準(zhǔn)
   

萬級(jí)集成電路潔凈廠房設(shè)計(jì)前需要考慮的事項(xiàng)

我們知道潔凈廠房的建立要求是非常高的,因此,現(xiàn)在想要建設(shè)一個(gè)凈化車間,就必須從一開始設(shè)計(jì)的時(shí)候,就需要考慮全面,這樣才能保證凈化車間在施工的時(shí)候不出現(xiàn)差錯(cuò),那么,潔凈廠房設(shè)計(jì)前有哪些要求需要我們考慮呢?下面小編帶大家一起來了解下。
1、周圍環(huán)境的要求
凈化車間設(shè)計(jì)之前,我們首先得選好地址,首先凈化車間不僅要選在一些現(xiàn)代化的工廠內(nèi)部,而且還要考慮它周圍的環(huán)境,凈化車間不能選擇在居民區(qū),因?yàn)榭紤]到水資源流動(dòng)的問題,我們在選址的時(shí)候,不能選在任何水資源的上游
2、車間廠房的結(jié)構(gòu)格局
生產(chǎn)車間的建筑結(jié)構(gòu)都比較寬敞的,在設(shè)計(jì)時(shí)要充分考慮到工作人員對室內(nèi)環(huán)境的影響。生產(chǎn)車間建筑結(jié)構(gòu)比較緊湊的,設(shè)計(jì)時(shí)要特別考慮到室內(nèi)溫度,不同建筑格局對設(shè)計(jì)要求都不一樣
3、材料的選擇
凈化車間設(shè)計(jì)時(shí),凈化車間墻、頂板材一般多采用50mm厚的夾芯彩鋼板,其特點(diǎn)為美觀、剛性強(qiáng)。圓弧墻角、門、窗框等一般采用專用氧化鋁型材。地面可采用環(huán)氧自流坪地坪或高級(jí)耐磨塑料地板,有防靜電要求的,要選用防靜電型
以上就是根大家介紹的關(guān)于潔凈廠房設(shè)計(jì)前需要考慮的事項(xiàng)方面的一些要求,從上面我們知道建立凈化車間一項(xiàng)復(fù)雜的系統(tǒng)工程,所以做好潔凈廠房設(shè)計(jì)前期準(zhǔn)備工作顯得尤為重要

集成電路潔凈廠房標(biāo)準(zhǔn) 集成電路潔凈廠房標(biāo)準(zhǔn)
   

萬級(jí)集成電路潔凈廠房電氣電路安裝要點(diǎn)

1、低壓配管配線,要特別注意工程前期配合土建按圖正確預(yù)埋的檢查,配管時(shí)電管的彎曲處不應(yīng)有褶皺凹穴、裂縫等
2、做好電氣施工隱蔽記錄,電氣設(shè)備開箱檢查記錄,以及所有的電氣材料的出廠合格證明。試車前認(rèn)真檢驗(yàn)線路,做好各種絕緣、接地電阻測試,及時(shí)、認(rèn)真、真實(shí)的填寫各種測試報(bào)告
3、對所有機(jī)械動(dòng)力設(shè)備,應(yīng)做好各種開箱驗(yàn)收記錄,設(shè)備安裝記錄,試車測試記錄,及時(shí)、認(rèn)真、真實(shí)的填寫各種測試報(bào)告

集成電路潔凈廠房標(biāo)準(zhǔn) 集成電路潔凈廠房標(biāo)準(zhǔn)
   

萬級(jí)集成電路潔凈廠房排水裝修方案

應(yīng)選擇無毒.不吸水不滲水.防滑.耐腐蝕.易清潔.防靜電的地面材料,地面還應(yīng)有相應(yīng)的坡度

集成電路潔凈廠房標(biāo)準(zhǔn) 集成電路潔凈廠房標(biāo)準(zhǔn)
   

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