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十萬級微電子潔凈室設(shè)計施工

來源:http://zjjinchenboli.cn/ 作者:DEIIANG得創(chuàng) 發(fā)布時間:2023-01-30 10:09

十萬級微電子潔凈室設(shè)計施工.得創(chuàng)凈化工程專業(yè)從事電子潔凈室工程規(guī)劃,設(shè)計,施工一條路凈化工程公司,歡迎來電咨詢:027-82289886
以芯片生產(chǎn)車間、集成電路潔凈室和磁盤制造車間為代表的電子工業(yè)工程潔凈室(區(qū))除了對微粒的嚴格控制外,還對溫濕度的控制、照度(甚至光源要求)微震等要求更嚴格,消除靜電對生產(chǎn)產(chǎn)品的影響,從而使環(huán)境達到電子產(chǎn)品在潔凈環(huán)境的生產(chǎn)工藝要求。

十萬級電子潔凈室需要用到哪些凈化設(shè)備

眾所周知,現(xiàn)在潔凈室的應(yīng)用越來越廣泛,在許多企業(yè)生產(chǎn)產(chǎn)品的時候都必須要在無塵的環(huán)境當(dāng)中進行,所以現(xiàn)在大部分的企業(yè)都會堅持潔凈室,它之所以能夠達到無塵的效果,就是因為在車廂裝配備了許多凈化設(shè)備,那么這種車間都會使用到哪些凈化設(shè)備呢?下面小編帶大家來來了解一下吧
潔凈室需要用到的凈化設(shè)備
在潔凈室當(dāng)中,首先要說的就是進風(fēng)系統(tǒng),對于任何一個潔凈室來說,為了能夠有效的提升空氣的清潔度,就必須要安裝進風(fēng)系統(tǒng),除了進風(fēng)系統(tǒng)之外,還必須要安裝回風(fēng)系統(tǒng),只有這兩個系統(tǒng)同時使用,才能夠有效的更換空間內(nèi)的空氣,其中最主要的就包括各種過濾箱,另外還有中央凈化空調(diào)
當(dāng)然潔凈室當(dāng)中的凈化設(shè)備還有很多,不僅只有上面所說的這些,對于10-千級:的潔凈室而言,在建設(shè)的過程當(dāng)中,還必須要安裝垂直層流工作臺,另外還包括自凈器和潔凈棚,除此之外,當(dāng)工作人員進入到該車間之內(nèi),為了保證車間內(nèi)空氣的清潔度,還必須要建設(shè)緩沖區(qū),在緩沖區(qū)當(dāng)中必須要設(shè)置潔凈儲衣柜和空氣清新機,從而能夠保證工作服的清潔度
對于任何一個潔凈室來說,都需要包含上面所說的這些設(shè)備,只有安裝這些設(shè)備之后才能夠有效的提升空氣清潔度,當(dāng)然對于垂直層流工作臺,如果潔凈室的等級不算太高的話,則無需安裝這樣的清潔設(shè)備

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十萬級電子潔凈室設(shè)計時這些問題要注意

隨著醫(yī)藥行業(yè)和電子產(chǎn)業(yè)的發(fā)展,越來越多的實驗和生產(chǎn)需要在潔凈室中進行。潔凈室的設(shè)計要滿足各行各業(yè)的需求,所以,在潔凈室在設(shè)計時有許多需要注意的地方。下面來看看吧
1、潔凈室 和其他房間例如辦公房間等獨立開來,并應(yīng)該讓潔凈室處于風(fēng)速最小的區(qū)域。為了滿足生產(chǎn)工藝優(yōu)化的需要,潔凈室的空間布局不宜有太多的分隔,應(yīng)該靈活機動,能夠隨著生產(chǎn)需要的變化而變化
2、在非潔凈室到潔凈室之間應(yīng)該安裝一系列的風(fēng)淋設(shè)備,因為風(fēng)淋室中吹出的干凈空氣能夠吹去貨物和工作人員身上攜帶的塵埃,同時還可以避免人和貨物攜帶外界未經(jīng)過凈化的空氣進入潔凈室
3、潔凈室安裝有空氣高效過濾器,一般安裝于排風(fēng)口處,為工作人員提供呼吸用的新鮮空氣,同時保持室內(nèi)的恒定壓力

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十萬級電子潔凈室節(jié)能設(shè)計有哪些

1、馬達效率
馬達消耗了潔凈室的大部分電能。使用優(yōu)質(zhì)高效的馬達,不一定會花費太多。高效率意味著最小,在改變馬達的尺寸之前先盡量減小負荷。在輸出量變化時,利用變速驅(qū)動(VSD)可以提高操作效率。
2、雙溫度冷凍循環(huán)
冷凍水的供給溫度每增加一華氏度,冷凍器效率就提高一個百分點以上。提供兩個不同溫度的冷凍水,那么工作效率將會更高。設(shè)計人員可以使用并聯(lián)循環(huán)管路,將他們 成兩個子系統(tǒng),這個方案可以迅速增加整個冷凍機機組的效率提高25%或更多。對于相同容量的冷凍機,高溫工作要比低溫工作花費小得多。
3、低斷面風(fēng)速設(shè)計
斷面風(fēng)速是指空氣經(jīng)過過濾器或者加熱/冷卻盤管的速度。在低斷面風(fēng)速(LFV)設(shè)計中,使用更大的空氣處理器和更小的風(fēng)機,從而降低空氣的流速,降低能耗。如果空氣流量降低50%,風(fēng)機能耗將下降88%。最優(yōu)的斷面風(fēng)速范圍是250-450英尺/分鐘,具體取決于使用情況和能量消耗。
4、熱量回收
許多任務(wù)都要消耗大量的能量來制熱,同時又消耗更多的能量從工藝過程中移除“廢”熱,可以把這兩個過程結(jié)合起來設(shè)計?;厥盏臒崃靠梢杂脕眍A(yù)熱新風(fēng),送風(fēng)再熱,熱交換器可以使不能混合或者直接接觸的不同介質(zhì)進行熱量交換。
5、變速驅(qū)動的冷凍機
變速驅(qū)動冷凍機通常工作在全負荷的90%-95%以節(jié)省能量。購買變速驅(qū)動冷凍機是劃算的。用變速驅(qū)動冷凍機可降低能耗,同時讓其他冷凍機可靠性運行。有許多的研究和實驗證明,變速驅(qū)動冷凍機的效果是很好的。
6、換氣次數(shù)
無塵車間要維持一定的空氣流量來保持清潔度和顆粒數(shù)。流量根據(jù)每小時的換氣次數(shù)來確定,同時這也決定了風(fēng)機尺寸、建筑構(gòu)型和能量消耗。在保持潔凈度的前提條件下,空氣流速的降低可以降低建造及能耗成本。ISO建議第5級潔凈室的換氣次數(shù)大約是200,保守的上限是300。

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十萬級電子潔凈室凈化設(shè)備的安裝

凈化設(shè)備的安裝
1.根據(jù)潔凈廠房中產(chǎn)品生產(chǎn)的需要和人員凈化.物料凈化等要求,一般設(shè)置有各種類型的凈化設(shè)備。各類凈化設(shè)備與潔凈室的圍護結(jié)構(gòu)相連時,其接縫必須密封。
2.風(fēng)機過濾單元(FFU.FMU空氣凈化設(shè)備)的安裝,一般應(yīng)做到如下要求。
FFU或FWU裝置應(yīng)在潔凈的現(xiàn)場進行外觀檢查,目測不得有變形.銹蝕.漆膜脫落.拼接板破損等現(xiàn)象。
在風(fēng)機過濾單元的高效過濾器安裝前應(yīng)進行檢漏,合格后才能進行安裝。方向安裝必須正確,安裝后的風(fēng)機過濾單元應(yīng)便于檢修。
安裝后的風(fēng)機過濾單元,應(yīng)保持整體平整,與吊頂銜接應(yīng)良好。風(fēng)機箱與過濾器之間連接.風(fēng)機過濾器單元與吊頂框架之間均應(yīng)采取可靠的密封措施。
風(fēng)機過濾器單元在進行系統(tǒng)試運轉(zhuǎn)時,必須在風(fēng)口加裝臨時中效過濾器。
3.帶有風(fēng)機的氣閘室.風(fēng)淋室與地面間應(yīng)隔振墊;安裝時應(yīng)按產(chǎn)品說明要求,做到平整并與潔凈室圍護結(jié)構(gòu)間配合正確,其接縫應(yīng)進行密封。
4.機械式余壓閥的安裝,閥體.閥板的轉(zhuǎn)軸均應(yīng)水平,允許偏差為2/1000。余壓閥的安裝位置應(yīng)符合設(shè)計要求,一般設(shè)在室內(nèi)氣流的下風(fēng)側(cè),并不應(yīng)在工作面高度的范圍內(nèi)。
5.傳遞窗的安裝應(yīng)符合設(shè)計圖紙和產(chǎn)品說明書的要求,安裝應(yīng)牢固.垂直,與墻體的連接處應(yīng)進行密封。
6.潔凈層流罩的安裝應(yīng)做到如下要求。
應(yīng)設(shè)有獨立的吊桿,并設(shè)有防晃動的固定措施。
層流罩安裝的水平度的允許偏差為1/1000,高度的允許偏差為±。
當(dāng)層流罩安裝在吊頂上時,其四周與頂棚之間應(yīng)設(shè)有密封和隔振措施。

電子潔凈室標準 電子潔凈室標準
   

十萬級電子潔凈室裝修注意事項

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環(huán)境要求
通風(fēng):實驗室在實驗過程中會產(chǎn)生大量的有毒有害氣體,對人體產(chǎn)生傷害,實驗室應(yīng)保持良好的通風(fēng),并裝備相應(yīng)的通風(fēng)設(shè)施
如:通風(fēng)柜、萬向排氣罩、原子吸收罩及其他局部排風(fēng)裝置。必要時需對整個房間設(shè)計整體排風(fēng)和補風(fēng)系統(tǒng)
溫度和濕度:為了保障實驗室工作人員有一個適合的工作環(huán)境,以及儀器設(shè)備有一個穩(wěn)定的工作狀態(tài),實驗室應(yīng)保持適宜的溫度和濕度。夏季事宜溫度為18-28℃,冬季為16-20℃,濕度控制在30%-70%之間,在局部實驗區(qū)域?qū)穸群蜏囟扔袊栏褚蟮目梢越⒑銣睾銤袷?br /> 潔凈度:經(jīng)常保持實驗室的清潔非常重要,實驗室換氣過程中室外塵土及其他污染物容易進入實驗室內(nèi),導(dǎo)致實驗室含塵量過高,空氣不潔凈影響實驗結(jié)果。而且塵土及微粒落在儀器設(shè)備元件表面,容易形成故障,或其他潛在危險。通常實驗室在補風(fēng)入口加裝過濾網(wǎng),并及時對室內(nèi)及設(shè)備做清潔。在對潔凈度有特殊要求的實驗區(qū)域,應(yīng)建立潔凈間,根據(jù)潔凈要求不同可分為百級、千級、萬級、十萬級等
設(shè)置要求
供水與排水,排污:實驗室供水分為自來水和純凈水。自來水供水可用PPR管做水路,純凈水則用不銹鋼管做水路。實驗室通常裝有水龍頭、洗眼器、緊急噴淋等。一般實驗室水可直接排入城市下水網(wǎng)道,而有毒廢水必須凈化才能排入下水網(wǎng)道或建立專門的廢液處理池
供電:電力是實驗室的重要動力,為保障實驗室的正常工作,電源的質(zhì)量,安全可靠性及連續(xù)性必須保證。一般用電和實驗用電分開,對一些精密貴重儀器設(shè)備要求提供穩(wěn)壓,恒流,穩(wěn)頻,抗干擾的電源;必要時須建立不中斷供電系統(tǒng),還要配備專用電源(UPS)等
供氣:實驗室使用的壓縮氣體鋼瓶,應(yīng)保持最少的數(shù)量,放置帶報警裝置的氣瓶柜內(nèi),不可靠近火源,直接日曬
廢氣排放:實驗室廢氣量少,危害性少,可直接排放,但排出管必須高出附近建筑3m。對毒性較大和濃度高的廢氣,則需凈化處理再行排放。一般可采用活性炭吸附塔和噴淋吸附塔

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